Titanové naprašovací terčejsou klíčovými materiály v technologii fyzikálního napařování (PVD), zejména v procesu naprašování. Jsou vyrobeny z titanových surovin a jsou široce používány ve špičkových{1}}odvětvích, jako je elektronika, informační technologie, dekorativní obory a výroba automobilového skla. V těchto aplikacích jsou titanové terče specificky aplikovány při potahování v integrovaných obvodech, povrchovém potahování panelů plochých displejů nebo jako potahové vrstvy pro dekorativní a funkční sklo.
Základní požadavky na výkon titanových naprašovacích terčů
Výkon titanových terčových materiálů přímo určuje kvalitu nanášených filmů a výkon finálních zařízení.
Čistota: Čistota je jedním z nejdůležitějších ukazatelů výkonu cílového materiálu a významně ovlivňuje výkon filmů. Požadavky na čistotu se velmi liší v závislosti na různých aplikacích. Trendem ve výrobě čipů je, že křemíkové destičky se zvětšují a obvodové linky se ztenčují. Velikost křemíkových plátků byla upgradována na 12 palců a šířka kabeláže se postupně zmenšila na 0,25 μm, 0,18 μm a 0,13 μm. Proto jsou požadavky na čistotu materiálu jádra, titanového terčíku, stále přísnější. Pro proces 0,35 μm je vyžadován materiál terče s čistotou 99,995 % a pro proces 0,18 μm je nutný materiál terče s čistotou 99,999 % nebo dokonce ultra{13}}vysokou čistotou.
Obsah nečistot: Nečistoty v pevné látce cílového materiálu a kyslík a vodní pára adsorbované ve vnitřních pórech jsou hlavními zdroji kontaminace ukládaných filmů. Různé aplikace mají extrémně přísné limity specifického obsahu nečistot. Například čistý hliník a hliníkové slitiny používané v polovodičovém průmyslu mají extrémně přísné speciální požadavky na obsah alkalických kovů a obsah radioaktivních prvků.
Hustota: Vysoká hustota je rozhodující pro zmenšení vnitřních pórů v materiálu terče a zlepšení výkonu naprašovaných filmů. Hustota materiálu terče ovlivňuje nejen rychlost rozprašování, ale také významně ovlivňuje elektrické vlastnosti (jako je měrný odpor) a optické vlastnosti filmů. Obecně řečeno, čím vyšší hustota, tím lepší výkon filmu. Vysoká hustota a vysoká pevnost mohou zároveň umožnit materiálu terče lépe odolávat tepelnému namáhání během procesu naprašování, čímž se snižuje riziko praskání. Proto je hustota klíčovým ukazatelem výkonnosti pro měření kvality cílového materiálu.
Velikost zrna a distribuce: Velikost zrna cílového materiálu se pohybuje od mikrometrů do milimetrů. Účinnost naprašování u jemnozrnných-cílů je lepší než u hrubozrnných{2}}cípů. U cílových materiálů s jednotnou velikostí zrna je pravděpodobnější, že produkují rovnoměrně silné nanesené filmy, což je klíčová záruka výkonu pro velkoplošné-potahování plochých displejů.
Aplikace titanových terčových materiálů
Polovodičový průmysl: Titanové terčové materiály lze použít k výrobě elektronických součástek, jako jsou fotodiody, fototranzistory, fotopřijímače a vysílače atd.
Optoelektronické pole: Titanové terčové materiály lze použít k výrobě optoelektronických zařízení, jako jsou LED a solární články atd.
Pole magnetických materiálů: Titanové terčové materiály lze použít k výrobě pevných disků a magnetických karet atd.
Další oblasti špičkových technologií: Titanové terčové materiály jsou také široce používány ve vysokoteplotních slitinách, vodivých materiálech, chemických katalyzátorech a lékařských zařízeních atd.
Tyto obory vyžadují nejen materiály s vysokou pevností a odolností proti korozi, ale také stabilní chemické vlastnosti a biokompatibilitu. Titanové terčové materiály přesně splňují tyto požadavky a staly se důležitým materiálem v těchto oborech.
Baoji Yibaite New Materials Technology Co., Ltd- dodavatel titanových terčových materiálů v Baoji, Čína